容器組件

nikkato日陶 半導體制造的各種熱電偶

  • 產(chǎn)品名稱：nikkato日陶 半導體制造的各種熱電偶
  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠商：nikkato日陶
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nikkato日陶 半導體制造的各種熱電偶 更多詳情咨詢：13024103468 劉經(jīng)理

nikkato日陶 半導體制造的各種熱電偶

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更多詳情咨詢：13024103468 劉經(jīng)理


? NIKKATO日陶 在半導體制造中使用的熱電偶主要包括以下幾種類型?：

  1. ? SPRIKE T/C （控溫熱電偶）?：主要用于控制爐體溫度。SPRIKE T/C通常是單點型，每個點的位置需要與PROFILE T/C的溫度點相互平行對應，以確保爐溫的穩(wěn)定和正確?

  2. ? PROFILE T/C （校準熱電偶）?：分為 LP PROFILE T/C 和 AP PROFILE T/C ，用于測量溫度而非控制溫度。PROFILE T/C用于測量爐子每一設定點的實際溫度，確保與設定值相同。其保護管有高純度透明石英管、SIC管（有Cu涂層及無涂層）和藍寶石管等，適用于高溫工藝?

  3. ? FLAT ZONE T/C （校正熱電偶）?：當產(chǎn)品厚度異常時使用，用于測量爐體溫度分布。FLAT ZONE T/C是單點式測量，從底部緩慢向出口端移動并記錄溫度，分為自動（約24小時）和手動（約兩小時）?

這些熱電偶在半導體制造中起著至關(guān)重要的作用，確保溫度控制的準確性和穩(wěn)定性，從而影響產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

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