容器組件
真空泵
- 產(chǎn)品名稱：真空泵
- 產(chǎn)品型號：MU-XE系列
- 產(chǎn)品廠商：日本樫山kashiyama
- 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹
真空泵
的詳細(xì)介紹
日本樫山kashiyama 真空泵 MU-XE系列 電/微 詳詢 趙13062644508
產(chǎn)品特點
無油潔凈：采用無油運轉(zhuǎn)設(shè)計，通過精密嚙合的轉(zhuǎn)子實現(xiàn)氣體壓縮，全程無需潤滑油，避免了油蒸氣對工藝腔體的污染，特別適合對潔凈度要求極高的工藝，如半導(dǎo)體制造、液晶顯示器生產(chǎn)、LED 制造和光伏產(chǎn)業(yè)等。
抽氣性能優(yōu)越：不同型號的抽速范圍廣，如 MU100XE 抽速為 1660L/min，MU1200XE *大抽速可達(dá) 20,000L/min，能快速抽取氣體，滿足不同負(fù)載的真空需求，縮短抽氣時間，提高生產(chǎn)效率。極限壓力低，例如 MU100XE 極限壓力為 1.5Pa，MU1200XE 極限壓力為 0.5Pa，可獲得高真空度，滿足對真空環(huán)境要求苛刻的工藝。
節(jié)能環(huán)保：配備低功耗電機，運行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品，降低了能耗與運行成本。同時采用變頻驅(qū)動（VFD）調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，可根據(jù)實際需求調(diào)整抽氣速度，進(jìn)一步節(jié)能，能耗較油封泵可降低 30%-50%。
結(jié)構(gòu)緊湊：尺寸小巧，如 MU100XE 尺寸為 450×230×275mm，重量約 60kg；MU1200XE 尺寸為 625×275×580mm，重量約 165kg，占地面積小，便于安裝在空間有限的設(shè)備中，適合設(shè)備集成和改造項目。
維護便捷：采用模塊化結(jié)構(gòu)，檢修流程簡單，無需復(fù)雜的拆卸和組裝過程。部件壽命長，維護周期長，可降低維護成本和停機時間。維護人員可快速定位和更換故障模塊，減少設(shè)備停機維修時間，提高設(shè)備利用率。
運行穩(wěn)定：摩擦部件少，可承受連續(xù)運轉(zhuǎn)，不易出現(xiàn)故障。且噪音低、振動小，連續(xù)排氣無脈動，能為工作環(huán)境提供較好的條件，減少對工作場所的噪音污染和振動干擾。
智能控制：具有實時參數(shù)顯示功能，可通過觸摸屏或遠(yuǎn)程接口（Modbus / 以太網(wǎng)）輸出真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)。還配備自診斷系統(tǒng)，通過振動、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進(jìn)入）進(jìn)行預(yù)警，并自動停機保護，方便操作人員實時監(jiān)控設(shè)備運行狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)和處理問題。
主要型號及參數(shù)
電源：三相 AC200 - 220V，50/60Hz。
外形尺寸：MU180X 系列尺寸為 550×280×299mm；MU300XE 尺寸為 450×230×520mm；MU600XE 尺寸為 530×230×520mm。
日本樫山kashiyama 真空泵 MU-XE系列 電/微 詳詢 趙13062644508
日本樫山kashiyama 真空泵 MU-XE系列 電/微 詳詢 趙13062644508
產(chǎn)品特點
無油潔凈：采用無油運轉(zhuǎn)設(shè)計，通過精密嚙合的轉(zhuǎn)子實現(xiàn)氣體壓縮，全程無需潤滑油，避免了油蒸氣對工藝腔體的污染，特別適合對潔凈度要求極高的工藝，如半導(dǎo)體制造、液晶顯示器生產(chǎn)、LED 制造和光伏產(chǎn)業(yè)等。
抽氣性能優(yōu)越：不同型號的抽速范圍廣，如 MU100XE 抽速為 1660L/min，MU1200XE *大抽速可達(dá) 20,000L/min，能快速抽取氣體，滿足不同負(fù)載的真空需求，縮短抽氣時間，提高生產(chǎn)效率。極限壓力低，例如 MU100XE 極限壓力為 1.5Pa，MU1200XE 極限壓力為 0.5Pa，可獲得高真空度，滿足對真空環(huán)境要求苛刻的工藝。
節(jié)能環(huán)保：配備低功耗電機，運行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品，降低了能耗與運行成本。同時采用變頻驅(qū)動（VFD）調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，可根據(jù)實際需求調(diào)整抽氣速度，進(jìn)一步節(jié)能，能耗較油封泵可降低 30%-50%。
結(jié)構(gòu)緊湊：尺寸小巧，如 MU100XE 尺寸為 450×230×275mm，重量約 60kg；MU1200XE 尺寸為 625×275×580mm，重量約 165kg，占地面積小，便于安裝在空間有限的設(shè)備中，適合設(shè)備集成和改造項目。
維護便捷：采用模塊化結(jié)構(gòu)，檢修流程簡單，無需復(fù)雜的拆卸和組裝過程。部件壽命長，維護周期長，可降低維護成本和停機時間。維護人員可快速定位和更換故障模塊，減少設(shè)備停機維修時間，提高設(shè)備利用率。
運行穩(wěn)定：摩擦部件少，可承受連續(xù)運轉(zhuǎn)，不易出現(xiàn)故障。且噪音低、振動小，連續(xù)排氣無脈動，能為工作環(huán)境提供較好的條件，減少對工作場所的噪音污染和振動干擾。
智能控制：具有實時參數(shù)顯示功能，可通過觸摸屏或遠(yuǎn)程接口（Modbus / 以太網(wǎng)）輸出真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)。還配備自診斷系統(tǒng)，通過振動、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進(jìn)入）進(jìn)行預(yù)警，并自動停機保護，方便操作人員實時監(jiān)控設(shè)備運行狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)和處理問題。
主要型號及參數(shù)
電源：三相 AC200 - 220V，50/60Hz。
外形尺寸：MU180X 系列尺寸為 550×280×299mm；MU300XE 尺寸為 450×230×520mm；MU600XE 尺寸為 530×230×520mm。